气泡法粗漏检测试验及分析

摘要：

文章介绍了使用两种不同液体组合进行的气泡法粗漏检测对比实验,根据检测结果使用拟合法计算等效标准漏率大值L1,给出了两种不同液体组合最小可检等效标准漏率L0及检出率,分析了造成漏检的原因,进而分析了不同液体组合粗漏检测所对应的氦质谱细漏检测最长候检时间及取代氟碳化合物气泡法粗漏检测方法的必要,提出了改进氦质谱粗漏细漏组合检测方法的建议.

关键词： 电子元器件 密封性 气泡法 粗漏检测 等效标准漏率

作者: 王庚林 李飞 王彩义 李宁博

作者单位: 北京市科通电子继电器总厂有限公司,北京100041

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 12-20

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）