去除吸附氦试验及相关标准分析

摘要：

文章介绍了两种典型密封样品的去除吸附氦试验,漏率测是在InficonInficon InficonInficon公司Pernicka 700H型积累氦质谱粗漏细组合检仪上进行的,给出了试验数据拟合模式和结果,进而分析了MIL-STD-750-1/883J氦质谱检漏方法在降低被检件吸附氦漏率方面的不可行性,并综合分析了这两项标准的其他问题,提出了全面改进的方案.

关键词： 电子元器件 密封性检测 去除吸附氦试验 氦质谱 检漏效果

作者: 王庚林 李飞 李宁博 刘永敏

作者单位: 北京市科通电子继电器总厂有限公司,北京,100041

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 21-30

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）