电真空器件氦质谱检漏技术中检漏平台和模具设计

摘要：

基于氦质谱检漏技术,介绍了氦质谱检漏仪的结构和基本原理,设计了与氦质谱检漏仪匹配的检漏平台和辅助检漏平台.针对电真空器件不同的外部尺寸和内部结构的特点,设计了特殊结构的模具和通用模具.

关键词： 电真空器件 气密性能 氦质谱检测 检漏平台 模具设计

作者: 王博锋 李丽萍 周健勇 张波

作者单位: 中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室,北京100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 94-99

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）