电真空器件的气密性检测

摘要：

基于氦质谱检漏仪的结构和原理,设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台.电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法,氦罩法是对总漏率进行测定,而总漏率超出允许值后用喷吹法进行漏孔的准确定位.双回路复杂结构和复杂串联漏孔的定位,表明了氦质谱喷吹法在电真空器件检漏中的影响因素必须遵循的喷吹检漏原则.同时,温度、临时密封材料(酒精、真空封泥、橡胶件)和设备材料吸附等因素会带来一定的测量误差.

关键词： 电真空器件 气密性检测 氦质谱检漏仪 测量误差

作者: 李丽萍 王博锋 周健勇 张波 赵金玉

作者单位: 中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室,北京100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 100-108

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）