用氦质谱大气累积检漏法对正压漏孔校准的探讨

摘要：

本文主要针对目前国内外正压漏孔校准与使用现状,提出了用氦质谱大气累积检漏法进行正压漏孔的校准设想,介绍了其校准的基本原理,对校准过程的工况及可行性进行了分析,并通过试验数据进行了说明.得出了用氦质谱大气累积法校准正压漏孔是可行的,但还需对系统误差进行详细分析.建议从事正压漏孔校准和使用正压漏孔的单位进行同一只漏孔的校准,进行对比研究,共同提高正压漏孔校准的准确性.

关键词： 真空检漏 正压漏孔 校准原理 氦质谱大气累积法 系统误差

作者: 师立侠 闫荣鑫 冯琪 窦仁超

作者单位: 北京卫星环境工程研究所,北京 100094

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 109-111

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）