有腐蚀性物料的真空系统真空规选用探讨

摘要：

正确测量真空参数的关键环节是选择合适的真空规.有腐蚀性物料的真空系统对真空规的选用有特殊要求,因此对该条件下真空规的选用进行分析探讨是十分必要的.本文对各种真空规的原理、适用范围、误差等进行归纳,结合实际针对有腐蚀性物料的真空系统选用真空规进行了探讨.

关键词： 真空系统 参数测量 真空规 选用原则 腐蚀性物料

作者: 赫梓宇 李德鑫

作者单位: 核工业理化工程研究院,天津市河东区津塘路168号 300180

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 244-248

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）