温度对电容薄膜真空计测量影响的实验研究

摘要：

采用了一支满量程为1333Pa的绝压式电容薄膜真空计,在金属膨胀式真空标准装置上对其进行温度变化的影响实验研究,包括在开和未开控制单元的规管恒温和温度补偿功能两种情况下环境温度变化的实验,并在实验过程中记录了电容薄膜真空计的零点漂移情况.其中,在打开控制单元的规管恒温和温度补偿功能的条件下,电容薄膜真空计测量准确度非常好.而在未打开控制单元的规管恒温和温度补偿功能的条件下,在10-2～10-1Pa两个量级上电容薄膜真空计的示值与标准值有较大偏差,最大偏差为36％:而在1～102Pa量级上电容薄膜真空计测量准确度也非常好.

关键词： 电容薄膜真空计 测量准确度 零点稳定性 环境温度

作者: 马奔 冯焱 孙雯君 董猛 刘珈彤 管保国

作者单位: 兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 263-267

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）