冷阴极电离真空计校准方法研究

摘要：

主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理.由于冷阴极电离真空计为非线性真空计,通过比较,校准结果采用了校准曲线的方式,可提高校准的准确度,减小校准不确定度,保证真空测量的可靠性.

关键词： 冷阴极电离真空计 校准机理 测量准确度 结构分析

作者: 刘珈彤 冯焱 赵澜 李莉 马奔 刘赐贤

作者单位: 兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 268-273

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）