碳纳米管阴极电离规的数值模拟研究

摘要：

本文基于IE514分离规结构,建立了碳纳米管阴极电离规物理模型,根据电离规标准方程,利用离子光学模拟软件SIMION8.O分别研究了电极电压对灵敏度和lgrid/le的影响.结果表明,随着阳极/门极电压比值增大(Vgrid/Vgate),lgrid/le也将增大,然而,当阳极电压增大时,会导致灵敏度降低,进而影响真空测量下限的延伸,该模拟结果与相关文献报道的实验结果符合性很好.此研究中新型CNT阴极的应用为解决极高真空测量难题提供了重要途径.

关键词： 真空测量 碳纳米管阴极电离规 数值模拟 灵敏度

作者: 李得天 董长昆 成永军 肖玉华 张虎忠

作者单位: 兰州空间技术物理研究所,兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 274-280

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）