恒压法正压漏孔校准结果测量不确定度评定

摘要：

为评定恒压法正压漏孔校准结果的测量不确定度,建立恒压法正压漏孔校准结果测量不确定度评定的数学模型,分析不确定度各影响分量及其灵敏度系数,分别评定由恒压法正压漏孔校准装置引入的测量不确定度与正压漏孔重复性测量引入的不确定度,得出恒压法正压漏孔校准结果的相对扩展不确定度,并通过实验给出恒压法正压漏孔校准结果测量不确定度的评定示例.

关键词： 真空检漏 正压漏孔 校准机理 恒压法 测量不确定度

作者: 张瑞芳 冯焱 张涤新 赵澜

作者单位: 兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 281-286

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）