比较法真空标准漏孔校准方法研究

摘要：

比较法校准真空标准漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计提供的标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值.主要介绍了比较法真空标准漏孔的校准方法、装置原理、校准过程及校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素.

关键词： 真空标准漏孔 比较法 校准机理 测量不确定度

作者: 赵澜 冯焱 成永军 张涤新 杨长青 李莉 徐婕

作者单位: 兰州空间技术物理研究所,国防科技工业真空一级计量站,甘肃兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 302-307

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）