便携式真空漏孔校准装置

摘要：

针对现场检漏对漏率校准的需求,研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置.采用标准流量系统提供可调的气体流量,通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体(He气)的分压力实现校准.标准气体流量系统采用直径约为lum的小孔获得了10-10m3/S量级的分子流导,仅用一台满量程为1.33x104Pa的电容薄膜规真空计(CDG)作为参考标准,通过直接测量和膨胀衰减压力两种方法为小孔入口提供标准压力,从而获得较宽范围的标准气体流量.研究结果表明,装置的校准范围为3.5×10-6～4.6×10-11Pam3/s,合成标准不确定度为1.8％～2.0％,外形尺寸减小到400mm×300mm×400mm,总重量小于35公斤.

关键词： 真空漏孔 校准装置 性能测试 测量不确定度

作者: 卢耀文

作者单位: 清华大学,北京100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 308-313

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）