分流法极高真空电离计校准系数测量不确定度评定方法研究

摘要：

通过对分流法极高真空电离计校准系数的测量不确定度分量分析,建立了校准结果测量不确定度评定的数学模型,确定各分量对结果的贡献及其灵敏度系数,分别对标准压力引入的不确定度分量、气体微流量计引入的不确定度分量、被校极高真空电离计示值以及本底波动引入的不确定度分量进行了评定.并利用该评定方法对1支分离规进行了校准系数的测量不确定度评定,其扩展不确定度为5.2％,能够满足极高真空电离计校准的需要.

关键词： 极高真空电离计 分流法 校准系数 测量不确定度 评定方法

作者: 习振华 成永军 冯焱 赵澜

作者单位: 兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 314-320

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）