几种热阴极电离真空计电参数校准及分析

摘要：

本文通过真空比对标准装置及电参数测量系统,对目前较为常用的几种热阴极电离真空计进行电参数校准.通过对实验数据的分析,验证了该套装置及方法的可行性.

关键词： 热阴极电离真空计 电参数校准 数学模型

作者: 刘波 李平 丁立莉 刘卿

作者单位: 西安航天计量测试研究所,陕西西安710100

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 330-335

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）