非旋转型微压活塞及其在真空计量中的应用

摘要：

本文介绍了FRSS微压活塞在真空计量中的应用，首先考核了微压活塞的有效面积，天平和内部祛码的特性，并对活塞进行了改造，实现压力测量点的自动化。借助于微压活塞，采用参考规法，进行了静态膨胀系统的体积比测量，该方法具有更高的测量精度。微压活塞的出现，可以在(30～10k)Pa范围内，代替静态膨胀系统，并且具有更高的精度。在小于30Pa的范围内，其可以直接测量前级压力，减少一次膨胀过程，提高静态膨胀系统的测量精度。

关键词： 真空计量 微压活塞 膨胀系统 自动控制

作者: 王金库 于红燕

作者单位: 中国计量科学研究院,北京100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 348-353

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）