基于四极质谱计的真空材料放气率测试方法研究

摘要：

在实际工程应用中,除了需要知道真空材料的总放气率之外,往往还关心的是材料放出的某种单一气体的放气率.为此,本文提出了基于四极质谱计的真空材料放气率测试方法,通过采用四极质谱计测量小孔两端的分压力来计算单一气体的放气率.基于该方法设计了测试装置,主要由真空抽气系统、双通道气路转换测试系统、压力测量与质谱分析系统三部分组成.该方法的提出可以解决测试材料单一气体放气率的问题,同时也提高了测试结果的准确性,其测量不确定度预估为5.0％.

关键词： 真空材料 放气率测量 四极质谱计 测试装置

作者: 冯焱 董猛 李得天 成永军 赵澜 孙雯君 习振华

作者单位: 兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 379-384

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）