热解吸用于表面污染物分析的实验研究

摘要：

质谱分析法是用来分析表面污染物的一种有效方法,目前已经出现了许多常温常压下的直接离子化质谱技术,建立了各具特色的样品快速质谱分析方法.本文主要利用大气压下进样的热解吸方法对三种不同样品进行实验,探讨了被检测样品的性质、载气的温度以及载气的流量的影响,并且探究了目前样品的检测限.

关键词： 表面污染物 质谱分析法 热解吸法 检测限

作者: 刘顺明 肖梅 张晓兵

作者单位: 东南大学电子科学与工程学院,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 392-398

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）