聚焦电压对四极质谱计灵敏度的影响

摘要：

四极质谱计的灵敏度是质谱计的一个重要的性能指标,其离子源参数、四极杆的状态参数和收集极的参数对灵敏度都有影响,其中聚焦电压是一个重要影响参数,本文首先对聚焦电压的电磁场进行理论分析,使用SIMION软件模拟了聚焦电压和灵敏度的关系,然后对模拟结果进行了实验验证,最终给出了通过调节聚焦电压来提高质谱计灵敏度的建议方法.

关键词： 四极质谱计 聚焦电压 灵敏度 电磁场

作者: 任国华 王勇 邵荣平

作者单位: 北京卫星环境工程研究所 北京100094

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 415-420

在线出版日期: 2013-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）