氟硅共掺杂类金刚石摩擦学性能

摘要：

本文采用PECVD沉积技术,成功制备了不同氟硅含量的类金刚石膜,测试结果表明,不同氟硅含量的类金刚石膜具有不同的摩擦磨损性能。特别是,当氟硅含量分别为4.94 at.％,2.34 at.％时,膜层具有低摩擦系数,但是磨损率高,当当氟硅含量分别为7.61at.％,6.04 at.％时,膜层具有较高的摩擦系数,但是磨损率低。

关键词： 类金刚石膜 摩擦学性能 氟硅含量 等离子体化学气相沉积法

作者: 张仁辉 王立平

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000;中国科学院 北京研究生院,北京 100049 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届摩擦学大会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 1-2

在线出版日期: 2013-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）