一种新颖的大分子硫鎓盐产酸剂及其应用
大分子产酸剂是将能够光照产酸的基团通过化学修饰的手段连接到高分子的链上,本文以聚对羟基苯乙烯为原料,合成了一种新颖的大分子产酸剂,其苯环上氢部分被三氟甲磺酸根硫鎓盐取代.在254nm光照下,该聚合物链上的硫鎓盐基团分解并产生磺酸.紫外光谱证实了光致分解过程,t-BOC保护的聚对羟基苯乙烯的酸催化分解也证实了强酸的产生,将这种产酸剂与缩醛聚合物配合,组成正型化学增幅型光致抗蚀剂体系,采用深紫外曝光系统进行评价,得到了分辨率为0.25微米的图形.
光刻胶材料 大分子硫鎓盐产酸剂 合成工艺 性能评价
刘娟 王力元
北京师范大学化学学院,北京,100875
国内会议
南昌
中文
123-126
2013-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）