二氧化钛的变温椭偏研究
本文采用电子束蒸发方法(EBE)在硅衬底上生长二氧化钛(Ti02)薄膜，并利用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)分析其表面形貌和晶体结构，得知样品表面较为平整并出现明显的锐钛矿结晶峰。随后利用变温椭偏(VASE)测量得到该薄膜不同温度(293K-533K)下的椭偏参数谱，建立表面粗糙层/Ti02层硅衬底三项光学模型和Forouhi-Bloomer(FB)色散模型拟合得到Tiq的光学参数谱。从该光谱中可以明显看到，在300 nm-800 nm的光谱范围内Ti02薄膜的折射率随着温度的升高而显著降低，引入热膨胀理论和电子光子相互作用可以很好的解释这种现象。在消光系数谱中的吸收边会随着温度升高有轻微的红移现象，这归功于热驱动的带隙收缩和电子寿命减少。这些结果将会对Ti02光学器件在集成光学或太阳能电池中的应用起指导作用。
集成光学 二氧化钛薄膜 变温椭偏 光学器件
张帆 张荣君
复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,上海 20043
国内会议
上海
中文
129-129
2013-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）