喷雾热解法制备掺铟氧化锌(LZO)薄膜
本文使用喷雾热解法在玻璃基底上制备掺铟氧化锌(IZO)薄膜.研究了In含量和前驱液用量对薄膜结构、光性能、电性能、以及带隙(Eg)的影响.以钠钙玻璃(2cm×2.5cm×1cm)作为基底,将切割好的钠钙玻璃分别用丙酮和水清洗,清洗完毕取出,用高压氮气吹干备用.分别以二水醋酸(ZnAc2·2H2O;0.1M)和氯化铟(InC13)作为Zn源和In源.溶剂选用乙醇与水的混合液,乙醇与水的体积比为4∶1.加入适量醋酸以抑制溶液水解.喷雾速度为0.6ml/min,基板温度550℃.通过改变In的含量,研究其对IZO薄膜结构性能的影响.在保持In含量为3 at％情况下,研究前驱液用量对薄膜结构性能的影响.利用X射线衍射仪(XID)表征薄膜的结构以及结晶性,紫外一可见分光光度计(UV-Vis Spectrometer)测试IZO薄膜的透过率,四探针测试了薄膜的电性能.
掺铟氧化锌薄膜 制备工艺 喷雾热解法 性能测试
刘伟 彭香艺 吴琼 莫晓亮
复旦大学材料科学系,上海200433
国内会议
合肥
中文
303-305
2013-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）