含氟光刻胶顶部涂层材料
本文主要介绍了四种用作浸没式光刻顶部涂层的含氟聚合物及其单体的合成方法，其中前两种还可以直接用作光刻胶主体树脂。这四种聚合物都在主链或支链上含有六氟异丙醇单体。因为六氟异丙醇基团除了具有氟取代低表面能的优点、在溶胀行为方面也表现良好外，其酸性近似于酚基，有利于聚合物在碱性的显影剂中的溶解。含有六氟异丙醇基团的聚合物的研究是浸没式光刻技术顶部涂层或光刻胶材质的重要研究方向。而这四种聚合物已经具备发展成为浸没式光刻技术中顶部涂层或光刻胶材质的重要特性，值得加大研究力量进行深入研究。或许其中的一种将来会成为浸没式光刻技术里的璀璨明星。
含氟光刻胶 顶部涂层材料 合成工艺 六氟异丙醇
黄海松
上海傲氟贸易发展有限公司
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2013中国氟化工技术与应用发展研讨会暨江西会昌氟盐化工产业发展推介会
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110-112
2013-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）