关键词： ＴａＮ薄膜微结构 氮分压的影响
作者: 许俊华 李戈扬 顾明元
作者单位: 交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第一届全国扫描电子显微学会议
会议地点: 南宁
会议语种:中文
页码: 55～56
在线出版日期: 1999-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）