常压微波等离子体反应器的设计与实现

摘要：

本文设计了一个基于BJ26矩形波导的常压微波等离子体反应器.微波反应器对于等离子体的产生起关键性作用,本设计中采用了矩形压缩波导结构.首先运用Ansoft HFSS仿真软件对反应器进行了模拟计算,得到不同矩形压缩波导腔体内的电场分布,从而对腔体进行了优化设计,最终制作了常压微波等离子体反应器.将反应器安装在微波系统中,获得了频率为2.45GHz功率可调的稳定的微波等离子体.

关键词： 常压微波等离子体反应器 结构设计 电场分布 模拟计算

作者: 赵冰 陈彦 童玲 张兆镗

作者单位: 电子科技大学,四川成都611731

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国微波能应用学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 4-7

在线出版日期: 2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）