MEMS模拟反馈加速度传感器及其测试

摘要：

本文用自主研发的ASIC和一款高性能体硅MEMS敏感器件搭建了模拟反馈加速度传感器,介绍了它的工作原理,并对其进行了重力场标定和初步的性能测量,测得其敏感度为1.16 V/g,静态偏差约0.16V,本底噪声接近-100dbg/√Hz.

关键词： 加速度传感器 性能指标 测试方法 结构特征 微机电系统

作者: 张寒 孙泉 汤亮 乔东海

作者单位: 苏州大学,苏州,215006 中国科学院声学研究所,北京,100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013中国西部声学学术交流会

会议地点: 敦煌

会议语种:中文

页码: 170-173

在线出版日期: 2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）