声表面波压力传感器敏感基片优化选择准则研究

摘要：

声表面波传感器的性能在很大程度上取决于制作延迟线或谐振器的压电基片.从声表面波压力传感器设计角度出发,系统性的提出了其敏感基片优化选择的基本准则.对各个准则的定义、含义和分析方法进行了详细说明.并以基于硅酸镓镧的声表面波压力传感器优化设计为例,对敏感基片切向进行了分析和优化选择.论文工作对声表面波压力传感器的优化设计具有一定的指导意义.

关键词： 声表面波压力传感器 敏感基片 优化设计 性能指标

作者: 吉小军 范彦平 韩韬 蔡萍

作者单位: 上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海,200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 2013中国西部声学学术交流会

会议地点: 敦煌

会议语种:中文

页码: 544-549

在线出版日期: 2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）