溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的研究进展

摘要：

钛酸锶钡(BST)被认为是有前途的谐铁电材料.本文综述了溶胶凝胶(Sol-ge1)法制备BST薄膜的研究状况,介绍了改善BST薄膜的介电性能的方法,指出进一步需要解决的问题.

关键词： 钛酸锶钡薄膜 溶胶凝胶法 介电性能

作者: 潘笑风 廖家轩 李恩求

作者单位: 电子科技大学电子科学技术研究院,电子科技大学微电子与固体电子学院,成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 电子科技大学电子科学技术研究院第三届学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 201-206

在线出版日期: 2007-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）