会议专题

以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能研究

用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr04TiO3薄膜,采用SEM,XRD,AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为.为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP).在700℃保温1小时的退火条件下,得到表面平整、致密、无裂纹和孔洞,晶粒取向高度一致的薄膜.薄膜的晶粒大小和表面粗糙度随退火温度的升高而增大.

钛酸锶钡薄膜 聚乙烯吡咯烷酮 溶胶凝胶法 结晶性能

李恩求 廖家轩

电子科技大学电子科学技术研究院,四川 成都 610054;电子科技大学微电子与固体电子学院,四川 成都 610054 电子科技大学电子科学技术研究院,四川 成都 610054

国内会议

电子科技大学电子科学技术研究院第三届学术交流会

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207-210

2007-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)