以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能研究
用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr04TiO3薄膜,采用SEM,XRD,AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为.为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP).在700℃保温1小时的退火条件下,得到表面平整、致密、无裂纹和孔洞,晶粒取向高度一致的薄膜.薄膜的晶粒大小和表面粗糙度随退火温度的升高而增大.
钛酸锶钡薄膜 聚乙烯吡咯烷酮 溶胶凝胶法 结晶性能
李恩求 廖家轩
电子科技大学电子科学技术研究院,四川 成都 610054;电子科技大学微电子与固体电子学院,四川 成都 610054 电子科技大学电子科学技术研究院,四川 成都 610054
国内会议
成都
中文
207-210
2007-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)