以PVP为添加剂的BST薄膜制备与结晶性能研究

摘要：

用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/Si02/Si(100)基片上沉积Ba0.6Sr04TiO3薄膜,采用SEM,XRD,AFM分析薄膜的表面形貌和结晶行为.为抑制薄膜裂纹,在前驱体溶液中加入高分子聚合物聚乙烯吡咯烷酮(PVP).在700℃保温1小时的退火条件下,得到表面平整、致密、无裂纹和孔洞,晶粒取向高度一致的薄膜.薄膜的晶粒大小和表面粗糙度随退火温度的升高而增大.

关键词： 钛酸锶钡薄膜 聚乙烯吡咯烷酮 溶胶凝胶法 结晶性能

作者: 李恩求 廖家轩

作者单位: 电子科技大学电子科学技术研究院,四川 成都 610054;电子科技大学微电子与固体电子学院,四川 成都 610054 电子科技大学电子科学技术研究院,四川 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 电子科技大学电子科学技术研究院第三届学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 207-210

在线出版日期: 2007-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）