微加热板的有限元仿真

摘要：

采用多物理量有限元仿真软件设计了一种用于红外热发射源的微型电阻加热板.研究了电流通过加热电阻时产生的热电效应,分析了热应力作用下的结构变形.同时对比了真空和大气两种环境下的加热温度分布.仿真结果和参数设计对实际制作具有一定的参考价值.

关键词： 微机电系统 微型电阻加热板 热电效应 有限元仿真

作者: 张欢 李宏伟 易仙 赖建军

作者单位: 武汉光电国家实验室,武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十四届红外加热暨红外医学发展研讨会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 118-124

在线出版日期: 2013-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）