三氯氢硅制备工艺的改进
本文主要针对西门子法三氯氢硅工艺存在的问题进行了分析,对针对出现的问题作了技术改造,并对改造前后的工艺进行了对比,分析了改造后的经济效益。
三氯氢硅 生产工艺 技术改造 产品质量
华山 高思燕
重庆天原化工有限公司,重庆408017
国内会议
成都
中文
184-186
2013-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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