大直径石墨热场单晶生长工艺的研究

摘要：

针对大直径石墨热场进行8英寸单晶硅棒生长工艺进行了研究和探讨,分析了单晶炉内热对流、温度、工艺参数对于单晶生长的影响,对一系列预设工艺参数进行了验证,最终确定出了一套稳定的SOP工艺参数,适用于大直径石墨热场进行8英寸无位错单晶硅棒的生长.

关键词： 单晶硅棒 生长工艺 参数优化 产品质量

作者: 苏金玉 昝武 陈洁 阮善斌 程小理

作者单位: 特变电工新疆新能源股份有限公司 830011新疆 乌鲁木齐

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国地方机械工程学会学术年会暨海峡两岸机械科技论坛

会议地点: 三亚

会议语种:中文

页码: 504-507

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）