锗烷合成工艺及用途概述

摘要：

锗烷主要用于半导体、光伏太阳能和集成电路行业,是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料.主要介绍了锗烷的合成方法:化学还原法、电化学反应法、等离子合成法.同时介绍了锗烷的性质和用途.

关键词： 锗烷 合成工艺 性能表征

作者: 陈艳珊

作者单位: 佛山市华特气体有限公司,广东佛山528200

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十七次年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 21-25

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）