耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制

摘要：

采用化学镀、氟涂料和真空离子镀(PVD)技术对涡旋干泵实施防护涂层,对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层;对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层.通过腐蚀试验表明,防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀,能够有效地提高涡旋干泵的使用寿命.

关键词： 涡旋真空泵 特种气体 涂层防护 耐腐蚀性能

作者: 金花子 吴杰 南泉 熊天英

作者单位: 中国科学院 金属研究所,辽宁沈阳110016

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十七次年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 31-33

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）