MOCVD尾气中氨气吸附回收的探讨与研究

摘要：

主要探讨了以氯化钙为吸附剂吸附回收MOCVD尾气中氨气的效果.通过实验,研究了氯化钙状态、氨气分压、初始纯度对氨气吸附比、回收率以及回收纯度的影响.当使用粉末状氯化钙,氨气分压大于4bar,初始纯度大于20％时,氨气吸附比达到5.8,回收率达到99.5％以上,回收的纯度到99％以上.测试了氯化钙的吸附寿命,200次吸脱附氨气后吸脱附比只下降4％左右.

关键词： 半导体材料 气相外延生长技术 氯化钙 吸附机理 氨气回收

作者: 汤剑波 宋常征 李东升

作者单位: 上海正帆科技有限公司,上海201108

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十七次年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 34-39

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）