电子级氟碳类产品生产设备管件的选材
随着太阳能、半导体、微电子等行业的快速发展,用作等离子刻蚀及清洗气体的电子级氟碳类气体的工业化研究与生产已成为国内外广泛关注的焦点.而生产设备工艺的选材是该类产品能否实现工业化的关键.本文结合已自主研发的成功经验,介绍了氟碳类电子级气体工艺的设备选材原则,着重针对各个工段的生产要求,对设备、管件的选材、阀门选择进行了详细地阐述,同时对生产过程中的其他注意事项进行了补充和强调.
电子级氟碳类气体 生产设备 管件选材 工艺流程
马建修
佛山市华特气体有限公司,广东佛山
国内会议
武汉
中文
40-45
2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）