锗烷色谱分析

摘要：

采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定锗烷(GeH4)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对锗烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围.

关键词： 锗烷 高纯电子工业气体 氦离子色谱法 技术标准

作者: 郁光 庄鸿涛 方华

作者单位: 上海华爱色谱分析技术有限公司,上海200437

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十七次年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 90-94

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）