DID氦离子化检测器对高纯硅烷的分析及探讨

摘要：

概述了配置DID氦离子化检测器分析高纯硅烷的原理及方法,对实验结果进行验证并探讨影响分析的因素.结果表明，在使用同等配置的DID气相色谱检测硅烷时可以将上述问题产生的影响消除至最低，而且灵敏度高，操作方便，分离效果很好。

关键词： 高纯硅烷 特种气体 放电氦离子化检测器 气相色谱法

作者: 程鹏

作者单位: 爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处,北京100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十七次年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 101-104

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）