热分解露点法测量超纯氨中的痕量水分

摘要：

介绍了运用热分解露点法测量超纯氨气中微量水分的方法与设备.主要包括SH-7000冷镜式露点仪与热分解露点检测装置(TDDP)两部分.SH-7000露点仪基于冷镜式露点仪原理,采用微型专用制冷机,可准确地测量高纯气体的露点.TDDP系统基于氨气在高温环境下通过催化剂会发生不可逆的分解反应,而氨气中微量水分不会变化的原理,配合微量氧含量的测量,可准确得到氮气中的微水分含量.

关键词： 电子气体 超纯氨 痕量水分 热分解露点法 含量测定

作者: 刘濛 水浩淼 蔡体杰

作者单位: 上海电控研究所,上海江浦路1380号200092 上海浦江特种气体有限公司,上海化学工业区才华路10号201507

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十七次年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 129-131

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）