浅述高纯气体中微量水的分析

摘要：

叙述了化工生产中电容法分析六氟化硫、四氟化碳,压电晶体法分析超纯气体,光腔衰荡光谱法测定超纯氨中的微量水含量的方法,通过在实验及工作中发现用这三种方法分析高纯气体的水含量可行,能满足产品生产监测的需要.

关键词： 高纯气体 微量水分析 含量测定 生产管理

作者: 叶相平

作者单位: 佛山市华特气体有限公司,广东佛山528244

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十七次年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 132-136

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）