单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚应用分析

摘要：

本文介绍了炭/炭复合材料热场部件在直拉硅单晶中的作用,详述了炭/炭复合材料坩埚结构性能特点,通过在单晶炉上的试验应用分析了炭/炭坩埚的一些不足,并提出了相应的解决方案.炭/炭复合材料坩埚比石墨材料具有更好的实际应用效果,在直拉硅单晶领域具有很好的应用潜力.

关键词： 单晶生长炉 热场部件 炭复合材料 化学稳定性

作者: 胡振英 陈青华 孟凡才 彭志刚 张永辉 张旭辉 赵上元 樊振宁 苏君明 谢英姿

作者单位: 西安超码科技有限公司,西安710025;高性能碳纤维制造及应用国家地方联合工程研究中心,西安710089 高性能碳纤维制造及应用国家地方联合工程研究中心,西安710089 西安超码科技有限公司,西安710025

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国金属学会炭素材料分会第二十七次学术交流会

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 73-80

在线出版日期: 2013-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）