飞秒激光在微加工中的应用

摘要：

本次报告将要介绍的飞秒激光在微加工中的应用,可以说即用到了飞秒激光的快,又用到了飞秒激光的强,且在不同的情况下侧重点有所不同.

关键词： 光电器件 微加工工艺 飞秒激光技术

作者单位: 大恒光电

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年全国光学元件及光学仪器产业发展论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 62-65

在线出版日期: 2012-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）