建在TEM中的纳米实验室:实时动态表征与检测

摘要：

随着电镜内原位技术的不断成熟和发展,透射电子显微镜不再仅仅是材料结构表征的工具,还是实现高精度纳米加工、性能测试等的重要手段.本文侧重作者所在研究小组近几年的主要研究工作,以”将纳米实验室建在透射电子显微镜里”的构想为主线,从材料的原位生长、结构加工、性能表征和器件构建等四个方面介绍了近年来基于透射电子显微镜的代表性原位实验研究进展.

关键词： 纳米材料 动态表征 实时检测 透射电子显微镜

作者: 孙立涛

作者单位: 东南大学-FEI纳皮米中心,MEMS教育部重点实验室,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会

会议地点: 呼和浩特

会议语种:中文

页码: 70-71

在线出版日期: 2012-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）