扫描探针显微镜与扫描电子显微镜联合原位纳米力学测试功能开发及应用

摘要：

本文介绍发展了一种扫描探针显微镜(SPM)与扫面电子显微镜(SEM)联合测试系统,将SPM集成到SEM样品室内,两种仪器有机的结合,实现了仪器功能互补.本文重点介绍了该系统基于SPM微悬臂梁探针的原位三点弯曲和纳米压痕纳米力学测试方法和技术,该系统成为针对单体纳米材料定量力学性能原位测试与表征,以及纳米力学性能与微观结构相关性研究与表征的综合实验平台.

关键词： 纳米材料 力学性能 原位测试 扫描探针显微镜 扫描电子显微镜 功能开发

作者: 张跃飞 吉元 韩晓东 张长辉 毛圣成 张泽 Ralf Heiderhoff

作者单位: 北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京 100124 北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京 100124;浙江大学材料科学与工程系,浙江 杭州 310058 University of Wuppertal

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会

会议地点: 呼和浩特

会议语种:中文

页码: 124-127

在线出版日期: 2012-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）