XRD、XRF研究”三步法”工艺制备CIGS薄膜的相变过程

摘要：

本文采用共蒸发”三步法”工艺沉积Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜,详细研究了”三步法”工艺的相变过程,通过X射线衍射仪(XRD)和X射线荧光光谱仪(XRF)结合的方法总结出”三步法”工艺的相变过程.

关键词： 薄膜太阳能电池 制备工艺 X射线衍射仪 X射线荧光光谱仪 相变过程

作者: 张力 何青 李凤岩 李长健

作者单位: 南开大学薄膜器件与技术研究所,天津300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 帕纳科第11届用户X射线分析仪器技术交流会

会议地点: 西宁

会议语种:中文

页码: 121-128

在线出版日期: 2010-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）