Pt/Si薄膜的X射线衍射表征

摘要：

对Si单晶衬底上成长的纳米级Pt薄膜进行了全面的X射线衍射表征,分别研究了薄膜中晶体的取向,薄膜的厚度和薄膜中的应力状态.

关键词： 半导体薄膜材料 X射线衍射 晶体结构 应力状态 性能表征

作者: 陈京一

作者单位: 帕纳科上海应用实验室,上海200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 帕纳科中国第十届X射线分析仪器用户技术交流会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 33-36

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）