Ag膜的取向测定
利用不对称布拉格反射STD扫描模式与常规CBD扫描模式,确定Ag膜的结构及取向.在低温状态下，溅射Ag膜在钢基体上成膜过程中，在膜的表层及次表层的晶粒是以Ag(111)晶面择优取向的。当α0=0.6°时，θ111=19.08°，方位角ψ=18.48°，此时的Ag(111)晶平面是与样品表面成18.48°的夹角。而随着a0角度的增大，X射线穿透深度逐渐加深，可以观测到较深层的膜层信息。当αo=20°时，θ200=22.14°，方位角ψ=2.14°，可以说Ag(200)晶面几乎是和样品表面平行的。当α0=θhkl时，方位角ψ=0°，此时所观察的晶平面永远是和样品表面平行的，即为CBD扫描模式。说明到了膜的体相则是以Ag(200)晶面择优平行于样品表面。这就证明了Ag膜的晶粒从表面向深度沿纵向分布是有择优取向的。
晶体结构 银膜 取向测定 x射线衍射
何荔 丛秋滋
中国科学院兰州化学物理研究所OSSO重点实验室 兰州730000
国内会议
河北香河
中文
48-50
2006-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）