用X射线荧光光谱法测定玻璃基材上C+TiO2薄膜的组分和厚度

摘要：

在X射线荧光(XRF)分析中应用基于基本参数法的FP-Multi软件,采用C固定道和Ti、Al和Si扫描道,以99.999％石墨及纯Al、Ti及SiO2四个块样做标样,对玻璃基材上含有C元素的TiO2薄膜厚度及成分进行了测试分析.薄膜厚度的结果还与用nkd干涉仪、扫描电镜断面分析等方法的测试结果作比对.证明X射线荧光光谱法测定玻璃基材上C+TiO2薄膜厚度及成分是可行的.

关键词： 玻璃材料 薄膜厚度 化学组分 X射线荧光光谱 基本参数法

作者: 常建平 谢毅 陶光仪

作者单位: 湖北武汉 武汉理工大学测试中心 430070

会议类型: 国内会议

会议名称: 荷兰帕纳科公司第九届用户经验交流会

会议地点: 河北香河

会议语种:中文

页码: 349-352

在线出版日期: 2006-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）