高纯石英隔离层对熔融石英坩埚与铸锭晶体硅间杂质扩散的影响

摘要：

熔融石英坩埚中的金属杂质浓度较太阳能级晶体硅高4-5个数量级,其中对晶体硅性能危害较大的过渡族金属Fe含量较太阳能级晶体硅高2-3个数量级,因而在铸锭过程中熔融石英坩埚对硅料的污染不可忽略.本文以Fe在坩埚与晶体硅中的扩散为研究对象,通过在熔融石英坩埚内壁制备0.5-2mm厚度不等的高纯隔离层,阻挡坩埚本体内Fe向硅熔体及晶体硅中的扩散.随着高纯隔离层厚度的增加,硅锭整体少子寿命略有上升,硅锭边部的红区基本可以消除.对高纯隔离层进行高温烧结可以加强这一效果.

关键词： 多晶硅 铸锭工艺 高纯石英隔离层 熔融石英坩埚 产品质量

作者: 尹长浩 周海萍 周绪成 张兆玉 黄新明

作者单位: 东海晶澳太阳能科技有限公司,连云港222300 南京工业大学,南京210009 东海晶澳太阳能科技有限公司,连云港222300;南京工业大学,南京210009

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 常熟

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2013-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）