有籽晶铸锭多晶硅中晶体生长分析

摘要：

采用多晶硅籽晶铺底进行晶体外延生长的多晶硅铸锭方法,大大降低了硅晶体生长需要的形核势垒,有效的提高了晶体质量.研究发现,粒径细小的多晶硅颗粒料籽晶为晶体生长提供大量的晶核,生长出大小均匀的晶粒,并伴有较低的位错密度.随着晶体的吞并长大,硅锭顶部晶粒的均匀性降低,位错聚集体也逐渐增加,且这些位错聚集体大多存在于大晶粒间夹杂的小晶粒内部.EBSD分析发现,有籽晶铸锭的晶粒中含有大量的Σ3或者孪晶界.

关键词： 多晶硅 有籽晶铸锭工艺 晶体生长 产品质量

作者: 朱笛笛 明亮 黄美玲 张兆玉 钟根香 黄新明

作者单位: 南京工业大学 东海晶澳太阳能科技有限公司 东海晶澳太阳能科技有限公司;南京工业大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

会议地点: 常熟

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2013-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）